MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systemの略で、超微小構造の電子機器システムを指します。通常サイズの装置と比べて、微小構造ゆえに一般的に適用される単一支配原理では事象を表現し得ないことが多く、複数の支配原理を満足する連成解析が多く適用されます。